超声波清洗在半导体行业中的应用

行业类别
清洗对象
主要污染物
常用清洗剂
电子行业
印刷电路板、电位器、线圈、导波管、电子元件、磁性材料等
助焊剂、防锈剂、油、石蜡、氧化物、尘、手垢
三氯乙烯、三氯乙烷、丙酮、中性洗剂、纯水


工艺难点：
1. 超声波可能会损伤半导体零件
2. 半导体零件对洁净度要求高
解决方法： 采用高频超声清洗


解决方法：